- 課程代碼
- 403K08A
- 課程名稱
- [日電三甲] 半導體元件與製程模擬實習
- 學分
- 2
- 學期
- 1101
- 單位
- 電子工程 (542204)
- 班級
- 日間部四技電子三A
- 修課人數
- 44 人
- 老師
-
王志浩資訊工程 (464103) - 助教
-
盧冠群電子工程 (542204) - 課程簡介
- 半導體元件與製程模擬實習--課程內容包含兩主要部分，ㄧ為製程模擬，二為元件模擬。本課程主要教授製程原理與元件物理，而在模擬軟體輔助下來進行元件的設計與模擬製造過程中的元件特性。 藉由單元主題「實用觀點」之介紹，期望能使學生能對元件與製程模擬的技巧、原理及其物理意義有基礎的認識與了解，以便提昇其日後研習相關課程的興趣與知識能量。
- 課程大綱
- 半導體元件與製程模擬實習--課程內容包含兩主要部分，ㄧ為製程模擬，二為元件模擬。本課程主要教授製程原理與元件物理，而在模擬軟體輔助下來進行元件的設計與模擬製造過程中的元件特性。 藉由單元主題「實用觀點」之介紹，期望能使學生能對元件與製程模擬的技巧、原理及其物理意義有基礎的認識與了解，以便提昇其日後研習相關課程的興趣與知識能量。第01週 單元主題+課程介紹+元件物理分析 (含實驗室安全認知)第02週 元件物理分析 II、習題練習 + 晶體結構第03週 製程方法介紹 I、習題練習 + 空間晶格第04週 製程方法介紹 II 、習題練習 +原子鍵結第05週 製程與Athena模擬軟體介紹、範例 +允許能帶和禁止能帶第06週 單晶成長與晶圓製程設備、習題練習 +半導體中的電傳導第07週 沉積、蝕刻製程模擬、習題練習 +能帶與鍵結模型第08週 擴散摻雜、熱氧化模擬及範例、習題練習 +狀態密度函數第09週 期中考第10週 離子植入模擬與範例、習題練習 +分佈函數和費米能階第11週 光微影模擬與範例、習題練習 +本質載子濃度第12週 薄膜沉積、金屬化、絕緣製程模擬 與範例、習題練習 +摻雜原子和能階第13週 製程整合模擬與範例、習題練習 +外質半導體第14週 Atlas元件特性分析介紹 、習題練習(I) +補償型半導體第15週 Athena製程整合暨Atlas軟體檢驗分析I +載子的漂移和擴散第16週 Athena製程整合暨Atlas軟體檢驗分析II +pn接面第17週 Athena製程整合暨Atlas軟體檢驗分析III +接面崩潰第18週 期末考
- 教科書
- 主要教材 :「自編講義 」Silvaco，軟體使用手冊。參考書籍 :1. Silvaco，軟體使用手冊。2.“半導體物理與元件 第四版”：楊賜麟譯 東華書局。3.”半導體製程技術導論” : 蕭弘著 全華書局。4. Semiconductor device physics and technology，Sze著，Wiley出版5. Silicon VLSI technology, J.D. Plummer, M.D. Deal and P.B. Griffin, Prentice Hall.
- 成績說明
- 期中考 25%
平台使用：10%
作業：30%
出席表現：10%
平時考：0%
— 敬業精神(互動、誠實、倫理) 0%
— 小考、報告 0%
期末成績 25% - 課表
- 星期二 / 第二節(06-0103), 第三節(06-0103), 第四節(06-0103)
- QR Code
- 放大
基本資訊
課程說明