課程概述與目標:使學生了解IC半導體元件之基本製程原理,並能具備製程整合能力及應用,及具備半導體製造業從業人員之專業態度。
1. 半導體產業現況
2. 晶圓製程技術簡介
3. 基本電子元件和製程概論
4. 晶圓生產技術和磊晶成長
5. 熱製程
半導體製程技術導論(第三版)
作者:蕭宏
全華圖書
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